Semalam buat experiment cam biase kat lab guna Semiconductor Parameter Analyzer... just tunggu non-strained Si NMOS nyer wafer tu, sbb mase awal2 datang tu die cam pelik sket, dah lebih 80000 s pun belum breakdown lagi. Lepas abis yg T=70C, buat yg T=125C start kol 1PM gitu, lepas tu sementara tunggu suhu turun utk buat yg T=30C pulak, Yamamoto ajak pegi melawat clean room yg kat NEC Electronics, dapat first class pass utk masuk semua tempat.

Memula dia ajar camner nak pakai baju puth tu... start dari pakai stokin, baju (pakai separuh badan dulu), then alas kepala, penutup kepala, mask, ... last2 skali kasut. Then, kena basuh tangan & keringkan, & minum air, sebelum pakai glove. Lepas tu, masuk aa ke clean room tu... kena masuk air shower room dulu sebelum masuk ke Class 1 Special Zone. (Ade banyak class... Class 10000, class 1000, class 30, etc)

Masuk dlm tu banyak aa tgk... memula tgk kat bahagian yg carik bahan asing kat atas wafer tu, sbb nanti bahan asing tu akan rosakkan LSI kat atas chip nanti. Then masuk bahaian WET process... CMP etc. Wafer tu kena diorang sapukan ngan Cu (Copper), jadik warna biru, lepas tu basuh aa ngan chemical solutions... sampai bersih balik. Then memacam lagi aa... peninn kepala mane satu ntah... Kat DRY process, ade ArF-Argon Fluoride (mesin paling mahal utk buat gap paling kecik antara poly-Si, SiO ngan Si), KrF-Kripton Fluoride, CVD-Chemical Vapor Deposition, Electron Beam Lithograpy, Optical Lithography, etc. Banyak sgt mende... blank beb.

Tadi tu kat level 6, ade production line semer2 kat situ. Then pegi ke level 2, ade alat2 yg lagi power utk buat up to 30nm nyer technology. Tapi diorang guna kat sini utk research jer dulu... ade gak 300mm wafer, kat atas tadi just 200mm wafer jer. Then masuk tingkat 1 tengok gas pipe & control nyer tempat, org yg masuk clean room nampak mende bersih jer... kat bawah nih banyak aa paip2 gas & wire yg diorang tak nampak.

Dlm kol 5 gitu abis aa... gi masuk office jap gi plotkan graf, then masuk ke lab balik setkan machine utk T=30C nyer TDDB Measurement. Mlm nih mesin tu gerak aa tuh... just tinggalkan camtu jer. Balik ke office balik, store data & sign out. Kuwar dlm kol 5:40PM gitu, awal sket... ok aa, penat dah sepanjang ari. Memacam mende buat.

Okay dulu... ari nih pun banyak gak mende kena buat nih, ngantuk agi... till next time, wassalam.